類(lèi)金剛石薄膜,也被稱(chēng)為DLC薄膜,是英文Diamond Like Carbon的簡(jiǎn)稱(chēng)。它是一種以sp3和sp2鍵的形式結合生成的亞穩態(tài)材料,兼具金剛石和石墨的優(yōu)良特性。這種薄膜具有高硬度、高電阻率、良好的光學(xué)性能以及優(yōu)秀的摩擦學(xué)特性。
具體來(lái)說(shuō),類(lèi)金剛石薄膜的硬度、導熱性、絕緣性、化學(xué)穩定性都相當高,從紅外到紫外的高光學(xué)透過(guò)率也表現出色,并且具有良好的減摩特性。盡管除減摩性能外,其它性能均低于金剛石膜,但它仍然廣泛應用于機械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫學(xué)等領(lǐng)域,尤其作為減摩耐磨涂層在航空航天、金屬加工、醫療器件等眾多領(lǐng)域有著(zhù)重要應用。
類(lèi)金剛石薄膜的制備方法多種多樣,其中一種常見(jiàn)的方法是通過(guò)射頻等離子增強化學(xué)氣象沉積設備,將陪鍍片置于設備的腔體內部,經(jīng)過(guò)一系列的氣體通入、加熱和離子化等步驟,最終在陪鍍片表面形成類(lèi)金剛石薄膜。
總的來(lái)說(shuō),類(lèi)金剛石薄膜因其優(yōu)良的性能和廣泛的應用領(lǐng)域而備受關(guān)注,隨著(zhù)科技的進(jìn)步,其在更多領(lǐng)域的應用也將不斷擴展。